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半導(dǎo)體特殊材料氣體在線顆粒數(shù)儀

更新時間:2023-03-12

簡要描述:

中國臺灣Reliya半導(dǎo)體特殊材料氣體在線顆粒數(shù)儀同時進行四通道顆粒量測,量測范圍為 0.1μm 以上,0.2μm 以上, 0.3μm 以上,0.5μm以上流量: 2.83 L/min (0.1 CFM)直接量測大宗氣體及一般惰性氣體檢測氣體時,機臺內(nèi)部氣體殘留之問題支持 N2 , CO? , Ar , He , CDA ,等氣體以連續(xù)在線檢測管道氣微顆粒,穩(wěn)定性,可靠性好日常維護方便

型號:HGPC – 100ex點擊量:1706

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  中國臺灣Reliya半導(dǎo)體特殊材料氣體在線顆粒數(shù)儀同時進行四通道顆粒量測,量測范圍為 0.1μm 以上,0.2μm 以上, 0.3μm 以上,0.5μm以上流量: 2.83 L/min (0.1 CFM)直接量測大宗氣體及一般惰性氣體檢測氣體時,機臺內(nèi)部氣體殘留之問題支持 N2 , CO? , Ar , He , CDA ,等氣體以連續(xù)在線檢測管道氣微顆粒,穩(wěn)定性,可靠性好日常維護方便,檢測氣體時,機臺內(nèi)部氣體殘留之問題,防爆設(shè)計支持 H2 , O2 , 等氣體,自動粒子計數(shù)器控制,數(shù)據(jù)采集,實時 圖形顯示,可以記錄和打印輸出測試結(jié) 輸出 顯示屏幕: 7 寸彩色觸摸屏 數(shù)據(jù)輸出: USB, RS232 機殼 主體 : 240 mm (H) X 380 mm (W) X 480 mm (D)  22 Kg 顯示器: 180 mm (H) X 240 mm (W) X 315 mm (D)  8 Kg 功率:100 ~ 240 VAC, 50/60 Hz, 2.0 Amp

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